| 作为我市首批引进的海归项目，瑞择微电子科技有限公司经过3年发展，已由最初的孵化期成功过渡至发展期。该公司20日公布了国家科技部“02”重大科技专项——“90纳米光掩模清洗设备的研发与产业化制造”的研发情况。副市长王成斌出席项目汇报会并致辞。 瑞择公司由常州市首批引进的海归领军型人才——徐飞及其团队共同创建。3年多来，公司规模和人才力量不断壮大，已成功申请多项专利，并先后承担了国家、省、市的各类科技项目。公司先后研发并投产光掩模湿法工艺设备、高端纯水电导率调整器、全氟化学药剂泵等。其中，公司设计的首台130纳米计算机微芯片光掩模清洗设备打破了国外垄断，填补了国内该领域的空白。 此次科技部重大专项，由瑞择公司主承担、中国科学院微电子研究所联合协作、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司负责验收，整个项目周期3年，致力于90纳米光掩模清洗设备的研发与产业化制造。目前，研发进展顺利，并取得一定的成果。 |
