| 2010年是常州瑞择微电子科技有限公司科技计划取得突破性的一年，“90纳米光掩膜清洗设备的研发与产业化”项目获得国家科技部“02”重大科技专项，同时，“基于臭氧技术光摸膜和硅晶圆去胶工艺和设备的合作研发”项目也获国家科技部国际合作计划立项，二项科技项目累计获得国家科技部资助近2500万元。2011年11月20日，该公司发布了 “02”重大科技专项的研发进展情况，副市长王成斌出席项目汇报会并致辞。 该项目由瑞择公司主承担、中国科学院微电子研究所联合协作、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司负责验收，整个项目为期三年，主要致力于90纳米光掩模清洗设备的研发与产业化制造。目前，该项目已完成了工艺理论研究及实验测试，设备研制以及清洗工艺验证的概要设计和核心部件选型的采购工作，项目进展顺利，也取得了一定成果。预计2012年完成原型机的组装和测试，2013年整机测试，同时完成工艺在线测试。 公司位于常州留学生创业园，拥有员工45人，其中：研发29人，销售2人。本科以上17人，专科以上14人，员工平均年龄31岁。拥有办公面积1500平米，其中，500平米的十万级防静电洁净室，500平米的加工区和500平米的行政办公区。目前，公司已拥有中型数控车床、数控铣床及中型加工中心、成套专业组装工具、液压起重设备等机械生产设备，可承接部分精密度较高的外加工零部件，还有液体颗粒检测仪、气体颗粒检测仪、超声清洗设备等，可同时进行五套设备的组装测试。公司累计申请专利22项，其中：发明专利11项。先后承担过常州市科技型中小企业创新基金、江苏省科技型中小企业创新资金、国家科技部中小企业创新基金、江苏省国际科技合作计划--江苏以色列产业研发合作项目等科技计划。2008年10月，公司与无锡华润微电子有限公司签订了第一台130纳米光掩模清洗设备的试用采购协议，2009年4月成功进入生产线，并于2009年11月实现销售。该设备先后获得了 “江苏省首台（套）重大装备产品”、“江苏省高新技术产品”、“江苏省自主创新产品”、“第四届中国半导体创新产品和技术”、“常州市十大劳模创新成果奖”等殊荣，也打破了国外垄断，填补了国内该领域的空白。 |
